Lalo, H., Mongan, S. and Silangen, P. 2021. STUDI EFEK PERMUKAAN SUBSTRAT ITO PADA PROSES DEPOSISI FILM DR-19 DENGAN METODE E-PVD. Jurnal FisTa Fisika dan Terapannya. 2, 1 (Apr. 2021), 25-30. DOI:https://doi.org/10.53682/fista.v2i1.102.