Lalo, H., Mongan, S., & Silangen, P. (2021). STUDI EFEK PERMUKAAN SUBSTRAT ITO PADA PROSES DEPOSISI FILM DR-19 DENGAN METODE E-PVD. Jurnal FisTa Fisika Dan Terapannya, 2(1), 25-30. https://doi.org/10.53682/fista.v2i1.102