Lalo, Haryati, Satyano Mongan, and Patricia Silangen. 2021. “STUDI EFEK PERMUKAAN SUBSTRAT ITO PADA PROSES DEPOSISI FILM DR-19 DENGAN METODE E-PVD”. Jurnal FisTa Fisika Dan Terapannya 2 (1), 25-30. https://doi.org/10.53682/fista.v2i1.102.