Lalo, Haryati, Satyano Mongan, and Patricia Silangen. “STUDI EFEK PERMUKAAN SUBSTRAT ITO PADA PROSES DEPOSISI FILM DR-19 DENGAN METODE E-PVD”. Jurnal FisTa Fisika dan Terapannya 2, no. 1 (April 30, 2021): 25-30. Accessed August 1, 2026. https://eurekaunima.com/index.php/fista/article/view/102.