Lalo H, Mongan S, Silangen P. STUDI EFEK PERMUKAAN SUBSTRAT ITO PADA PROSES DEPOSISI FILM DR-19 DENGAN METODE E-PVD. fista [Internet]. 2021Apr.30 [cited 2026Aug.1];2(1):25-0. Available from: https://eurekaunima.com/index.php/fista/article/view/102